ONX® 600/Composites(复合材料)/Greene Tweed/物性表参数
2023.02.03
导电
抗静电 ESD
耐化学性
耐酸
填充增强
Greene Tweed的ONX® 600是一种基于含氟聚合物的碳纤维增强复合材料，具有高强度和高纯度，可在高温下承受强酸的化学侵蚀。 ONX® 600可用于晶圆清洗，能耐受SPM（过氧硫酸，食人鱼溶液）、SC1（过氧氢氧化铵）、SC2（过氧盐酸）和稀HF清洗溶液。 ONX® 600适用于精密组件，在高达200°C（392°F）的温度条件下对湿法工艺是稳定的，并且其纯度足够用于必须接触晶圆边缘的应用。此外，由于ONX® 600的硬度低于硅胶，所以减少了边缘损伤和颗粒物的产生。最后，ONX® 600具有导电性，可消除旋转喷雾动作引起的静电荷，从而保护了半导体器件的精密特性。 ONX® 600比其他含氟聚合物材料具有更高的性能和更低的购置成本。通过优异的机械性能和始终如一的品质，使设备性能和可靠性大大提高，对于OEM设备制造商严苛的技术参数要求是理想的选择。 可将其用于直径长达20英寸的组件
